产品型号
真空机器人   VC60   VC90   VC120  
 

特点

* 环境温度从 -196℃ (-320.8℉) to +200℃ (+392℉)
* 真空度 10-7Pa (10-9mbar)

产品主要

* 真空室
* 高温室
* 高洁净度环境





选型编码

VC
60 50 2 M0 SHT L2
型号 主体宽度 行程 导程 电机接口 等级 传感器数量
  60
90
120
50
100
150

800
2
3
4
6
8
25
35
M0 (标准接口)
M1 (定制)
见下表 L1
L2
L3

* 在 50~800mm行程内都可以定制

等级

等级代码 温度等级
℃ (℉)
真空度
Pa (mbar)
NT-L1 -20~+85
(-4~+185)
-
NT-L2 -40~+85
(-40~+185)
-
NT-L3 -60~+85
(-76~+185)
10-1 (10-3)
HT -20~+150
(-4~+302)
10-3 (10-5)
SHT -20~+200
(-4~+392)
10-7 (10-9)
LT -100~+40
(-148~+104)
10-7 (10-9)
SLT -196~+40
(-320.8~104)
10-7 (10-9)
L* H* 定制 定制

* 定制的L(低)和H(高)温度来自 -196℃ (-320.8℉) to +300℃ (+572℉)。